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半導体製造装置用材料：耐熱合金
耐熱材料マップ
ラインナップ
より耐熱性を要求される部材に適用します。
| 合金名 | UNS合金記号 (JIS合金記号) |
相当 合金 |
適用部材例 (※) |
可能製造形状 | 相当規格 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 棒 | 線 | 帯 | ASTM | JIS | ||||
| DSALOY600 | N06600 (NCF600) |
Inconel 600 | バルブ・レギュレーター ダイヤフラム |
◎ | ◎ | ◎ | B166 B168 B564 |
G4901 G4902 |
| DSALOY625 | N06625 (NCF625) |
Inconel 625 | バルブ・継手・管 | ◎ | ◎ | ◎ | B443 B446 B564 |
G4901 G4902 |
| DSALOY800 | N08800 (NFC800) |
- | ◎ | ◎ | ◎ | B408 B409 B564 |
G4901 G4902 |
|
| DSALOYX-750 | N07750 (NCF750) |
Inconel X750 | バルブ・レギュレーター ダイヤフラム |
◎ | ◎ | ◎ | B637 | G4901 G4902 |
| DSALOY718 | N07718 (NCF718) |
Inconel 718 | バルブ・レギュレーター ダイヤフラム |
◎ | ◎ | ◎ | B637 B670 |
G4901 G4902 |
| DSA760 | - | - | - | ○ | ◎ | - | - | - |
- ※適用部材例は実施例及びSEMI F105(Guide for Metallic Material Compatibility in Gas Distribution Systems.)から抜粋しています。
- ※詳細の可能製造形状については個別にお問い合わせ下さい。
◎：標準製品 〇：製造可能商品 -：製品対象外 - ※Inconelは Special Metals Corporationの登録商標です。
化学成分
| 区分 | 合金名 | UNS合金記号 (JIS合金記号) |
相当 合金 |
化学成分(wt%) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ni | Cr | Mo | Co | Fe | その他 | ||||
| 耐熱性 (固溶強化型) |
DSALOY600 | N06600 (NCF600) |
Inconel 600 | ≧72.0 | 14.0- 17 |
- | - | 6.0- 10 |
Cu≦0.50 |
| DSALOY625 | N06625 (NCF625) |
Inconel 625 | ≧58.0 | 20.0- 23.0 |
8.0- 10.0 |
≦1.0 | ≦5.0 | Al≦0.40 Ti≦0.40 Nb+Ta 3.15-4.15 |
|
| DSALOY800 | N08800 (NCF800) |
30.0- 35.0 |
19.0- 23.0 |
- | - | ≧39.5 | C≦0.10 Cu≦0.75 Al 0.15-0.60 Ti 0.15-0.60 |
||
| 高温強度 (析出強化型) |
DSALOYX-750 | N07750 (NCF750) |
Inconel X750 | ≧70.0 | 14.0- 17.0 |
- | - | 5.0- 9.0 |
Cu≦0.50 Ti 2.25-2.75 Al 0.40-1.00 Nb+Ta 0.70-1.20 |
| DSALOY718 | N07718 (NCF718) |
Inconel 718 | 50.0- 55.0 |
17.0- 21.0 |
2.8- 3.3 |
- | bal. | Cu≦0.30Ti 0.65-1.15 Al 0.20-0.80 B ≦0.006 Nb+Ta 4.75-5.50 |
|
| DSA760 | - | - | bal. | (38) | - | - | - | (Al 3.8) | |
- ※InconelはSpecial Metals Corporationの登録商標です。
その他特徴
| 区分 | 合金名 | 熱処理 | 引張強さ(N/mm2) | 伸び(%) |
|---|---|---|---|---|
| 耐熱性 (固溶強化型) |
DSALOY600 | A | ≧550 | ≧30 |
| DSALOY625 | A | ≧760 | ≧30 | |
| DSALOY800 | A | ≧520 | ≧30 | |
| 高温強度 (析出強化型) |
DSALOYX-750 | ST+AG | ≧960 | ≧8 |
| DSALOY718 | ST+AG | ≧1,240 | ≧10 | |
| DSA760 | ST+AG | ≧1,500 | - |
| 区分 | 合金名 | 合金の一般特性 |
|---|---|---|
| 耐熱性 (固溶強化型) |
DSALOY600 | 高温での耐酸化性が良く、Cl-イオンによる応力腐食割れに強く､高純水およびアルカリに対する耐食性にも優れています。 |
| DSALOY625 | 熱処理なしで高強度を発揮する固溶強化型のNbを添加したNi-Cr-Mo合金で､広範の厳しい腐食環境に優れた耐食性があります。 | |
| DSALOY800 | 高湿雰囲気において強度と耐酸化・耐浸炭性が良く､長時間保持にも組織が安定しており､湿潤環境での耐食性も良好で加工性も優れています。 | |
| 高温強度 (析出強化型) |
DSALOYX-750 | 析出強化型のNi-Cr合金で､耐食性とともに約700℃までの耐酸化性･引張強さ･クリープ特性・耐ヘタリ性に優れています。 |
| DSALOY718 | 高温強度と耐食性を兼ね備えた析出強化型のNi合金で､700℃までのクリープ特性に優れています。 | |
| DSA760 | 非磁性で高硬度・高耐食性を有する析出強化型のNi-Cr合金です。 硬度はマルテンサイト系ステンレス鋼と同等レベルです。 |
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