二次電池、パワー半導体等のEV部品需要は今後のEV化シフトにより大きく需要増が見込まれます。
大同特殊鋼の超高温連続熱処理炉は、従来の鉄系材料用熱処理炉と違い「超高温（2000℃レベル）」「真空」「還元雰囲気」による熱処理をローラーハース式で実現。
これにより、バッチ炉対比で自動化による高い生産性、炉内温度分布改善による品質良化が図れます。
用途
ファインセラミックス材料の焼成
高融点金属の熱処理
特長
安定した搬送
2000℃レベルでのローラーハース搬送を実現。振動なく安定した搬送が可能です。
高い生産性
準備室、加熱室、冷却室等がそれぞれ独立した標準モジュール仕様となっており、処理条件に応じて自由な構成が可能です。生産量、処理条件に応じて適したモジュールを配置することにより、バッチ炉対比で高い生産性を実現します。
高い設備拡張性
モジュール構成のため設置後に部屋構成の変更、増設改造も容易に行えます。将来の増産を見越して設備計画を行うことで高いスペース生産性を実現します。
高気密構造、高い雰囲気管理
真空炉ベースの高気密な炉殻構造により炉外からの大気混入はなく、加熱室は前後に配置された室において、真空パージ後にクリーンなガスを導入できるため、高い雰囲気管理を実現できます。雰囲気は真空、不活性ガスならびに還元ガスのそれぞれに対応可能です。
良好な温度分布
発熱体を適切に配置しコントロールすることで、有効寸法内での良好な温度分布を実現します。
仕様
| 形式 | SH□R-1257H |
|---|---|
| 有効寸法 (L×W×H)(mm) |
1200×500×700 |
| 積載重量 (グロスkg) |
400 |
| 常用温度(℃) | ～1900（最高2000） |
| 雰囲気ガス | 真空or不活性ガス（～50kPaG） |
| キャリアガス | N2（Ar、H2オプション対応可） |
| 到達真空度(Pa(abs)) | 1.33（高真空仕様0.013（オプション）） |
□：処理室数
＊有効寸法、重量などはオプションで変更可能です。
構造
処理室分割について