特長
CLEANSTAR(クリーンスター)の化学成分はJISにあります。SUS316Lの化学成分規格範囲内ですが、例えば下に示す用途に応えた超清浄性を有するステンレス鋼です。
主な用途
半導体製造装置、超高真空装置、医療関係設備部品、バイオ関連設備、太陽光発電設備、半導体製造装置、超高真空装置、医療関連設備部品、バイオ関連設備部品、他清浄性が求められる設備部品
主な特性
・超高清浄・CLEANSTAR-Bは超清浄性に重点を置いた特殊溶解材で、極低Mnの要求がない場合にコストメリットがあります。
旧JIS点算法（total）：0.008%
ASTM-D法（Worst Thin）：1.0級
代表成分
| 大同鋼種 | 溶製法 | 主成分代表例(mass%) | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| C | Ni | Cr | Mo | Mn | O | N | ||
| CLEANSTAR-B | EAF-VAR | 0.007 | 14.66 | 16.91 | 2.23 | 0.23 | 7ppm | 80ppm |
二次溶解：VAR（真空ｱｰｸ炉再溶解）
一次溶解：VIM（真空誘導炉溶解）
一次溶解：EAF（ｱｰｸ炉溶解）
相当規格
JIS(SUS316L)、AISI(316L)製品一覧