特長
CLEANSTAR(クリーンスター)の化学成分はJISにあります。SUS316Lの化学成分規格範囲内ですが、例えば下に示す用途に応えた超清浄性を有するステンレス鋼です。
主な用途
半導体製造装置、超高真空装置、医療関係設備部品、バイオ関連設備、太陽光発電設備、半導体製造装置、超高真空装置、医療関連設備部品、バイオ関連設備部品、他清浄性が求められる設備部品
主な特性
・超高清浄・CLEANSTAR-Aは最も厳しい品質要求に対応したもので、特殊溶解による超清浄度に加え、極低Mn化により溶接時に発生するMnヒュームを防止できます。
旧JIS点算法（total）：0.002%
ASTM-D法（Worst Thin）：0.5級
代表成分
| 大同鋼種 | 溶製法 | 主成分代表例(mass%) | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| C | Ni | Cr | Mo | Mn | O | N | ||
| CLEANSTAR-A | VIM-VAR | 0.006 | 14.71 | 16.69 | 2.25 | 0.04 | 5ppm | 65ppm |
二次溶解：VAR（真空ｱｰｸ炉再溶解）
一次溶解：VIM（真空誘導炉溶解）
一次溶解：EAF（ｱｰｸ炉溶解）
相当規格
JIS(SUS316L)、AISI(316L)製品一覧