靶材
我们的溅射靶材和蒸发涂敷材料特点为纯度高、结构均匀、密度高、气体含量低。
我们有各种用途的产品阵容.
| Main applications | Purity | Material | ||
|---|---|---|---|---|
| Magnet recording film | 3N～4N | Ni | Co | Fe |
| Ni-alloy | Co-alloy | Cr | ||
| Cr-alloy | ||||
| Display film | 3N～4N | Cr | Mo | Ta |
| Ag-alloy | ||||
|
Semiconductor film, Electronic device film |
3N～6N | Mo | Ta | W |
| Ti | Ni | |||
|
Magnet-Optical recording film |
3N | Gd-Fe-Co | Tb-Fe-Co | Al-Ti |
| Al-Cr | Al-V | |||
|
Decorative film, Surface-hardening film |
2N～3N | Ni-Cr-Mo | Zr | Hf |
| Ti-Al | Ti-Al-V | Cr | ||
| Ti | ||||
| Resistor film | 3N | Ni-Cr | Ni-V |
- Please feel free to consult us regarding requirements for materials, shapes, backing plate fabrication and bonding other than those shown above.
靶材的形状
平板靶材
宽50～300㎜ｘ长300～3000㎜
宽50～300㎜ｘ长300～3000㎜
圆盘靶材
φ1～12英寸/φ25～350㎜
φ1～12英寸/φ25～350㎜
圆柱靶材
外径100～180㎜ｘ长500～2000㎜
外径100～180㎜ｘ长500～2000㎜
蒸发涂敷材料
例:φ50㎜、10x10x10㎜、φ13x10㎜
例:φ50㎜、10x10x10㎜、φ13x10㎜
自主研发的靶材
我们也有根据市场需求开发的靶材,
可以提供用于评估的成膜样品.
NCT:保护层用溅射靶材
| 使用案例 | 触摸屏的Cu或Al的引线保护膜. |
| 类型 | 溅射靶材 |
| 特长 |
可靠性,蚀刻性 作为保护膜将其用于Cu或Al配线,可以提高配线可靠性. 
靶材外观 NCT 
Mo(比较产品) 
高温高湿测试：85℃、85RH、500hrs |
| 使用案例 |
触摸屏的引线保护膜 
配线截面构成例
单层膜的电极形成后照片
(最小配线宽度2μm) |
STARMESHTM-α1:黑化膜用溅射靶材
| 使用案例 | 触摸屏的金属网格电极 |
| 类型 | 溅射靶材 |
| 特长 |
低反射,蚀刻性 通过与Al或Cu叠加成膜,可以使配线呈黑色. 
靶材外观
电极形成后照片
(最小配线宽度3μm) 
反射率
|
| 使用案例 |
触摸屏的金属网格电极 
金属网格电极的截面构成例
|
[新物品]STARMESHTM-β１:黑化膜用溅射靶材
| 使用案例 | 触摸屏的金属网格电极 |
| 类型 | 溅射靶材 |
| 特长 |
低反射,可靠性 通过与Al或Cu叠加成膜,可以使配线呈黑色. 
靶材外观
反射率
可靠性
|
| 使用案例 |
触摸屏的金属网格电极
金属网格电极的截面构成例
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| 产品介绍 | 新闻稿 发布高可靠性金属网格电极黑化膜用靶材｢STARMESHTM-β1｣ |
